Что такое MEMS

Что такое MEMS

Аббревиатура «МЭМС» означает «микроэлектромеханические системы», которые совмещают в себе как механические, так электронные устройства. Они могут включать в себя различные датчики, микросхемы, приводы, кабели Huber

и другие элементы, расположенные на одном основании (подложке), как правило, из кремниевых соединений или полимеров.

Что представляю собой МЭМС и где применяются?

Технологии МЭМС используются при изготовлении микроустройств, таких как датчики и актуаторы. MEMS применяются при создании барометрических, магнитометрических, скоростных датчиков. МЭМС-технологии применяются в медицине для анализа крови. Радиоприемные преобразователи не обходятся без сочетанного применения электроники и механики. Осцилляторы, изготовленные из смешанных элементов, можно использовать вместо кварцевых генераторов в некоторых ситуациях.

Один из примеров использования МЭМС — гироскоп. Это прибор, определяющий изменение положения в пространстве. Сенсорным элементом такого устройства являются два грузика, находящиеся в постоянном движении. Их колебания обеспечивают гребенчатые электростатические двигатели. Электроды и грузики (подвижная масса) на кремниевой или полимерной подложке вместе образуют конденсаторы. Последние вырабатывают сигнал, зависящий от разности электрических емкостей конденсаторов. Гироскоп осуществляет преобразование угловой скорости в электрический сигнал, определяемый датчиком.

Акселерометры определяют ускорение. Принцип действия основан на изменении электрической емкости конденсатора, одна из обкладок которого находится в движении. Микросхема, находящаяся в одной МЭМ-системе, например от компании Analog Devices,

с кристаллом и датчиком, выдает на выходе электрическое напряжение, пропорциональное анализируемому ускорению.

Основные типы МЭМС:

  • Емкостные переключатели, управляющиеся подвижной подложкой или сенсорным элементом, изменяющим электроемкость.
  • Омические тумблеры, в которых применяют электростатические кантилеверы. Они склонны к деформации, поэтому со временем необходима их замена.

Спектр применения МЭМС широк — от медицины до охраны объектов.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Пресненская набережная, 12