Где применяются сенсоры MEMS
Чтобы электронные устройства могли эффективно взаимодействовать с окружающим миром, их оснащают различного рода датчиками. Для автоматизированных систем датчики выполняют роль зрения, слуха и других органов чувств. На современном этапе развития микроэлектроники многие сенсоры изготавливаются в виде микроэлектронномеханических систем (MEMS). Такие системы содержат микроминиатюрные механические элементы, реагирующие на какую-либо физическую величину, и электронную схему, преобразующие физическую величину в электрические сигналы. MEMS изготавливаются в виде микрочипов. Размер кристалла в чипе может составлять несколько десятков или сотен микрон. Одним из крупнейших производителей микроэлектронномеханических компонентов является американская компания Analog devices.
Виды MEMS сенсоров и сферы их применения
Акселерометры — датчики, реагирующие на приложенную силу. Они измеряют ускорение устройства, в которое они встроены. Большинство измерителей ускорения реагирует на изменение емкости встроенных конденсаторов, связанное с деформацией пластин при ускоренном движении. Акселерометры встроены практически в каждый смартфон или планшет. Вместе с гироскопом акселерометр позволяет управлять гаджетом путем изменения положения телефона в пространстве. Миниатюрные датчики ускорения широко применяются в системах управления и навигации самолетов, беспилотных летательных аппаратов, судов, других транспортных средств, производственных роботов и механизмов.
Гироскопы — это датчики, реагирующие на угловое ускорение и угол поворота. В классическом исполнении гироскопы представляют собой быстровращающиеся волчки, закрепленные в карданном подвесе с несколькими степенями свободы. Вследствие гироскопического эффекта направление оси вращающегося волчка не изменяется при изменении ориентации подвеса. MEMS гироскопы реагируют на показания системы вибрационных датчиков, с помощью которых измеряются угловые ускорения в трех плоскостях. Гироскопы выполненные по MEMS технологии широко используются в инерциальных системах управления положением в пространстве и в навигационных системах.
Кроме описанных акселерометра и гироскопа по MEMS технологии изготавливаются датчики температуры, давления, медицинские сенсоры. Наша компания занимается поставками электронных микросхем от Analog devices, других американских и европейских производителей. У нас можно приобрести компоненты для телекоммуникационного оборудования от компании Huber.
